Modul
Mikrofertigung [M-MACH-101291]
Leistungspunkte
9Turnus
Jedes SemesterDauer
1 SemesterSprache
DeutschLevel
4Version
3Verantwortung
Einrichtung
- KIT-Fakultät für Maschinenbau
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Teilleistungen
| Identifier | Name | LP |
|---|---|---|
| T-MACH-100530 | Physik für Ingenieure | 6 |
| T-MACH-105556 | Practical Course Polymers in MEMS | 3 |
| T-MACH-102192 | Polymers in MEMS A: Chemistry, Synthesis and Applications | 3 |
| T-MACH-102167 | Nanotribologie und -mechanik | 3 |
| T-MACH-109122 | Röntgenoptik | 4 |
| T-MACH-102164 | Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik | 3 |
| T-MACH-108312 | Laborpraktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik | 4 |
| T-MACH-102191 | Polymers in MEMS B: Physics, Microstructuring and Applications | 3 |
| T-MACH-102200 | Polymers in MEMS C: Biopolymers and Bioplastics | 3 |
| T-MACH-102166 | Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik | 3 |
Erfolgskontrolle(n)
Die Modulprüfung erfolgt in Form von Teilprüfungen (nach §4(2), 1-3 SPO) über die Kernveranstaltung und weitere Lehrveranstaltungen des Moduls im Umfang von insgesamt mindestens 9 LP. Die Erfolgskontrolle wird bei jeder Lehrveranstaltung dieses Moduls beschrieben.
Die Gesamtnote des Moduls wird aus den mit LP gewichteten Noten der Teilprüfungen gebildet und nach der ersten Nachkommastelle abgeschnitten.
Qualifikationsziele
Der/ die Studierende
- besitzt vertiefte Kenntnisse über Fertigungsverfahren in der Mikrotechnik
- erlangt Kenntnisse in aktuellen Forschungsgebieten
- kann Wirkzusammenhänge in mikrotechnologischen Prozessketten erkennen und nutzen.
Voraussetzungen
keine
Inhalt
In diesem ingenieurwissenschaftlichen Modul werden vertiefte Kenntnisse zur Mikrofertigung vermittelt. Dazu werden verschiedene Fertigungsverfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen vertieft betrachtet. Notwendiges interdisziplinäres Wissen aus der Physik, Chemie, Materialwissenschaft und aktuelle Entwicklungen (Nanobereich und Röntgenoptik) werden vermittelt.
Arbeitsaufwand
270 Stunden